挑戰(zhàn)：ESD敏感區(qū)域

解決方案：防ESD的EZ-SCREEN安全光幕

好處：鍍鎳外殼可消除靜電放電

使用安全光幕來對工作單元進行防護是取代實體防護和出入門的一種高效實用的方法。對半導體晶圓加工過程進行安全防護時，還必須特別小心和注意解決有關(guān)靜電放電(ESD)的問題。應用正確的安全組件可以為員工提供安全防護，同時保護設備和半導體產(chǎn)品。

說明

在此應用中，機器操作員需要進入晶圓載體臺。EZ-SCREEN ESD安全光幕系統(tǒng)可配置為對該過程以及操作員使用發(fā)射器、接收器和反射鏡的過程加以安全防護，從而將載體臺的三個側(cè)面封閉起來。安全光幕與物理屏障相比，不僅可防止機器在操作員進入危險區(qū)域時發(fā)生移動，同時還允許操作員更快速、方便地進入。

此外，由于靜電放電會損壞產(chǎn)品或干擾自動化過程，所以此應用還要求安全設備能降低靜電放電幾率。EZ-SCREEN ESD安全光幕采用特殊的鍍鎳外殼，可以消除靜電放電。這款ESD版的EZ-SCREEN具備與標準版產(chǎn)品系列相同的所有編程、設置和功能。