為優(yōu)化效率和產(chǎn)出，必須密切監(jiān)控單晶圓沉積機中多個 FOUP 的進度。在這些機器附近工作的員工若是長時間暴露在塔燈的強光之下，會導致眼睛和身心疲勞。繼續(xù)閱讀本文，了解 TL30 基本型塔燈如何解決此應用。

應用：為 FOUP 的進度提供狀態(tài)指示

沉積不過是半導體器件制造過程中必需完成的多道步驟中的一道而已。在各道工藝之間，硅晶圓存儲在 FOUP（前開式晶圓傳送盒）中，以確保將晶圓安全地置于受控環(huán)境中進行安全運輸。 在規(guī)定的任何時間，都可以將多個 FOUP 加載到單晶圓沉積機中。一旦所有晶圓都處理完畢并返回到 FOUP，就可以將該 FOUP 取下，再將新的 FOUP 裝入機器中。

為潔凈室工作人員清晰指示每個 FOUP 的狀態(tài)，可以提高效率并增加產(chǎn)出。但是，長時間在明亮的塔燈附近工作會造成工人眼睛疲勞、錯誤增加以及生產(chǎn)力下降。

解決方案：光輸出舒適的塔燈

TL30 基本型塔燈提供一目了然的狀態(tài)指示，而且能輸出對人眼很舒適的光線水平。工作人員就算長時間在一個或多個塔燈附近工作，也不會感到不適或眼睛疲勞。

TL30 基本型塔燈部署在裝載到單晶圓沉積機中的每個 FOUP 上方，為工作人員提供快速、一目了然的 FOUP 進度指示。在進行沉積過程中的特定階段時，相應顏色的燈段會亮起。該階段完成后，相應燈段顯示為灰色，以防止由環(huán)境光引起的錯誤指示。亮起綠色燈段時，即可卸下該 FOUP，并裝入新的 FOUP。

TL30 基本型塔燈的優(yōu)勢

設計緊湊

TL30 基本型塔燈配備纖細的 30 毫米圓柱燈體，很容易安裝在較大型塔燈可能會干擾運動或流程并且燈體尺寸對應用而言可能過大的區(qū)域中。

經(jīng)濟實惠

TL30 基本型塔燈是邦納最具成本效益的塔燈。這款完全獨立的設備無需控制器，已完全組裝妥當，可以在小型或大型應用中快速部署。LED 燈堅固耐用，防護等級為 IP65 和 IK07，可確保長期免維護運行。

舒適的光輸出

TL30 基本型塔燈輸出的光柔和，長時間在塔燈附近工作的人員會覺得眼睛更加舒適。